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            鉭酸鋰拋光液,LT拋光液,晶圓拋光

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            鉭酸鋰(LiTaO3)拋光液

            所屬分類:拋光液      發布時間:2021-02-19

            上海新創納電子科技有限公司開發了鉭酸鋰拋光液系列產品,主要包括LT-01、LT-02、LT-1915、LT-1901、LT-1902等系列。目前廣泛應用于國內各大鉭酸鋰晶體晶圓廠家,市場占有率7成以上,歡迎電話咨詢:186-2157-4686(李博士)。

            鉭酸鋰(LiTaO3,簡稱LT)晶體,是集壓電、鐵電、熱釋電、聲光及電光等性能于一體的多功能晶體材料,在聲表面波(SAW)器件、光通訊、激光及光電子等領域中有著廣泛的應用,是制作濾波器和諧振器的關鍵材料。

             

            酸性鉭酸鋰拋光液

            優點

            1、拋光速率大于15μm /h。

            2、拋光表面平整光滑,無明顯劃傷,表面粗糙度達到0.2nm以下。

            3、酸性拋光液,拋光速率較快。

            應用:鉭酸鋰等晶圓拋光。

             

            堿性鉭酸鋰拋光液

            優點

            1. 拋光速率大于10μm/h 。

            2. 拋光表面平整光滑,無明顯劃傷,表面粗糙度達到0.15nm以下。

            3. 堿性拋光液,拋光后的的表面質量較好。

             

            主要指標:LTV<0.5, TTV<3, Ra<0.3。

            應用:鉭酸鋰等晶圓的精拋。

            鉭酸鋰拋光液

            相關標簽: CMP拋光液  

            聯系人:李博士

            手機: 186-2157-4686

            郵箱: viplee@mail.sim.ac.cn

            上海地址: 上海市金山區天工路285號20幢

            浙江地址: 浙江省海寧市斜橋鎮云星路138號

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