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            CMP化學機械拋光團隊

            上海新安納電子科技有限公司團隊介紹

            宋志棠,新安納公司董事長,中科院特聘研究員,國家超級973、國家集成電路重大專項項目的首席科學家,第四批國家“萬人計劃”科技創業領軍人才,上海市領軍人才、國務院特殊津貼、跨世紀千百萬人才國家級人選。國內PCRAM材料與器件研究的開創者,研制出我國第一款PCM芯片,其1500萬顆嵌入式芯片在國際首次應用,創立相變八面體基元理論,自主ScSbTe、TiSbTe材料與雙溝道二極管等用于芯片。帶領團隊建立起國內第一條自主的電子級二氧化硅納米磨料生產線,研發出的電子二氧化硅納米磨料和拋光液實現產業化,每年產出超億元。在Sciences、Nature comm等期刊發表511篇論文,他引4517次;國內外授權發明專利284項。“電子級二氧化硅納米拋光新材料及工業化制備關鍵技術”2016年獲上海市技術發明獎一等獎,“相變存儲芯片制造核心技術及嵌入式應用”2018年獲上海市科學技術發明獎二等獎,相變材料的研究獲得2019年度中國材料研究學會科學技術一等獎。

            劉衛麗,新創納公司總經理,中科院二級研究員,“國家萬人”創新人才推進計劃中青年創新領軍人才,曾獲上海市技術發明一等獎、中國科協杰出青年成果轉化獎、國家科技進步一等獎等獎項和榮譽稱號。是新安納和新創納兩家公司的發起人之一,劉博士是國家“十一五”和“十二五”兩項國家重大專項項目負責人和首席科學家,她帶領團隊建立了具有自主知識產權的電子級二氧化硅納米磨料中試和生產線;開發了納米材料生長新工藝,從原理和工藝上解決了納米材料粒徑不穩定的問題;開發了高效藍寶石拋光液、金屬拋光液、硅片拋光液、氧化硅拋光液等。先后發表SCI論文一百多篇,被引用1580余次。申請國內外發明專利98項,其中授權71項(2項為美國專利)。

            新創納公司在董事長宋志棠博士和總經理劉衛麗博士的帶領下,共有博士8名,高級職稱7名,研發人員20多名。既有納米材料制備領域的材料專家,也有來自于拋光液公司對于磨料的需求和技術發展具有深刻理解的人才,還有在集成電路半導體化學機械平坦化與拋光方面的微電子專家,這幾類人才可以保證新創納產品在CMP化學機械拋光上具有較強的優勢。另外公司管理隊伍整體素質較高,有著良好的知識結構、年齡結構,富有激情和創新精神。

            新創納公司團隊介紹

            聯系人:李博士

            手機: 186-2157-4686

            郵箱: viplee@mail.sim.ac.cn

            上海地址: 上海市金山區天工路285號20幢

            浙江地址: 浙江省海寧市斜橋鎮云星路138號

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